v Kỹ thuật viên lộ quang chịu trách nhiệm vận hành, giám sát và kiểm soát quy trình quang khắc (photolithography) – một bước quan trọng trong quá trình chế tạo vi mạch hoặc linh kiện bán dẫn. Công việc bao gồm xử lý lớp phủ ảnh (photoresist), tiếp xúc ánh sáng, rửa ảnh và kiểm tra chất lượng lớp mẫu được tạo ra trên wafer.
v Kiểm soát chất lượng:
Kiểm tra độ chính xác của mô hình (CD – Critical Dimension).
Ghi nhận lỗi lớp phủ, hỏng ảnh hoặc dịch chuyển mô hình.
Phối hợp với các bộ phận khác (Etch, Deposition, CMP...) để xử lý lỗi liên quan.